Axcelis Technologies, Inc. (Axcelis) entwirft, produziert und wartet Ionenimplantations- und andere Verarbeitungsausrüstungen, die bei der Herstellung von Halbleiterchips verwendet werden. Die Purion-Produktfamilie des Unternehmens bietet die innovativsten Implantierer auf dem Markt. Das Unternehmen verkauft an führende Halbleiterchip-Hersteller weltweit. Das Ionenimplantationsgeschäft machte 98,3% des Umsatzes des Unternehmens im Jahr 2023 aus, während die verbleibenden 1,7% des Umsatzes aus de...
Axcelis Technologies, Inc. (Axcelis) entwirft, produziert und wartet Ionenimplantations- und andere Verarbeitungsausrüstungen, die bei der Herstellung von Halbleiterchips verwendet werden. Die Purion-Produktfamilie des Unternehmens bietet die innovativsten Implantierer auf dem Markt. Das Unternehmen verkauft an führende Halbleiterchip-Hersteller weltweit. Das Ionenimplantationsgeschäft machte 98,3% des Umsatzes des Unternehmens im Jahr 2023 aus, während die verbleibenden 1,7% des Umsatzes aus dem Aftermarket-Verkauf im Zusammenhang mit anderen veralteten Verarbeitungssystemen stammen. Neben der Ausrüstung bietet das Unternehmen umfangreiche Aftermarket-Lebenszyklusprodukte und -dienstleistungen, einschließlich gebrauchter Werkzeuge, Ersatzteile, Ausrüstungs-Upgrades, Wartungsdienste und Kundenschulungen. Das Unternehmen bietet auch Aftermarket-Service und -Teile, um seine Kunden weltweit zu bedienen.
Die Strategie des Unternehmens besteht darin, mit Purion-Produkten und Aftermarket-Angeboten zu gewinnen, die hochwertige Kundenherausforderungen mit differenzierten, wertvollen und nachhaltigen (als DVS bezeichnet) Lösungen lösen; die Kundenzufriedenheit verbessern, um wiederkehrende Geschäfte anzukurbeln; identifizierte Wachstumschancen in Japan und der fortgeschrittenen Logik umsetzen; CS&I-Zielumsatzmodellumsätze von etwa 25% des Gesamtumsatzes erzielen, wie erwartet; und über die Ionenimplantation hinaus expandieren, indem identifizierte Unternehmensentwicklungs-Wachstumsinitiativen gestartet werden. Das Unternehmen setzt weiterhin auf Forschung und Entwicklung, um sicherzustellen, dass seine Produkte den Bedürfnissen seiner Kunden entsprechen.
Ionenimplantationssysteme
Die Ionenimplantation ist ein wesentlicher Schritt im Transistorbildungszyklus des Halbleiterchip-Herstellungsprozesses. Die Ionenimplantation wird auch verwendet, um die Materialeigenschaften des Siliziums oder Siliziumkarbids aus Gründen außerhalb der elektrischen Dotierung zu ändern, ein Prozess, der als Materialmodifikation bekannt ist. Ein Ionenimplanter ist ein großes, technisch fortschrittliches System, das Dotierstoffe wie Arsen, Bor oder Phosphor in einen Wafer einspritzt. Diese Dotierstoffe sind ionisiert und haben daher einen elektrischen Ladungszustand. Dieser elektrische Ladungszustand ermöglicht es den Dotierstoffen, mit elektrischen und magnetischen Feldern beschleunigt, fokussiert und gefiltert zu werden. Ionenimplanter verwenden diese Felder, um einen Strahl von Ionen mit einem genau definierten Energieniveau (zwischen mehreren hundert und acht Millionen Elektronenvolt) und einem genau definierten Strahlstromniveau (von Mikroampere bis Milliampere) zu erzeugen.
Axcelis bietet eine komplette Palette von Hochenergie-, Hochstrom- und Mittelstromimplantern für alle Anwendungsanforderungen. Die Flaggschiffsysteme von Axcelis Purion basieren alle auf einer gemeinsamen Plattform, die eine einzigartige Kombination aus Implantationsreinheit, Präzision und Produktivität ermöglicht. Durch die Kombination einer hochmodernen Einzelwafer-Endstation mit fortschrittlichen Spot-Beam-Architekturen (die sicherstellen, dass alle Punkte über den Wafer hinweg denselben Strahlzustand unter dem gleichen Strahlwinkel sehen), ermöglichen Purion-Produkte eine außergewöhnliche Prozesskontrolle zur Optimierung der Geräteleistung und des Ertrags bei hoher Produktivität.
Neben der Purion-Familie von Ionenimplantern bietet das Unternehmen die Ovation-Familie von Mehrwafer- oder Batch-Implantern an. Über die traditionellen Kategorien von Implantern hinaus hat Axcelis Systeme für spezifische Anwendungen entwickelt. Zum Beispiel die Axcelis Purion Power Series, die eine vollständige Rezeptabdeckung für Leistungshalbleiteranwendungen bietet, die für Elektrofahrzeuge und industrielle Anwendungen entscheidend sind. Die Purion Power Series besteht aus einer Gruppe von Hochstrom-, Mittelstrom- und Hochenergieimplantern, die Halbleitergeräte optimieren, die auf SiC-Wafern hergestellt werden, die für bestimmte Leistungshalbleiter vorteilhaft sind.
Eine Übersicht über spezifische Axcelis-Ionenimplantationsprodukte finden Sie unten:
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Hochstromimplantation
: Die Hochstromsysteme Purion H, Purion Dragon, Purion H200 und GSD/E2 Ovation Spot-Beam-Hochstromsysteme des Unternehmens decken alle traditionellen Hochstromanforderungen ab, sowie solche, die mit aufkommenden und zukünftigen Geräten verbunden sind. Die Hochstromfähigkeiten von Purion erstrecken sich über die traditionellen Hochstromenergie- und Dosisbereiche hinaus, um neue Anforderungen an die Geräteherstellung zu erfüllen und die Kapitalnutzung und Flexibilität zu maximieren. Darüber hinaus bieten die Purion-Systeme von Axcelis Vorteile für Materialmodifikationsanwendungen, einschließlich solcher, die heiße und kalte Implantationsfähigkeiten erfordern.
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Hochenergieimplantation
: Axcelis ist seit vielen Jahren ein Marktführer bei Hochenergie-Ionenimplantern und bietet eine Reihe neuer Purion-Systeme mit differenzierten Fähigkeiten für Spezialanwendungen sowie für ältere Hochenergiesysteme. Die Hochenergiesysteme Purion XE, EXE und andere Hochenergiesysteme von Purion kombinieren die bewährte RF-Linac-Hochenergie-Technologie von Axcelis mit dem Purion-Plattform-Wafer-Handhabungssystem. Die Purion XE Power Series-Implanter umfassen die Modelle Purion XE und EXE für die Aluminiumimplantation von Hochvolumenleistungsgeräten, erhältlich mit 150mm SiC-Wafer-Handhabung oder 200mm dünner Si-Wafer-Handhabung. Die Batch-Hochenergiesysteme des Unternehmens umfassen den GSD/HE Ovation-Implanter, einen 10-stufigen Linac mit Energien bis zu 3 MeV, und das GSD/VHE Ovation-System, einen 14-stufigen Linac mit Energien bis zu 4,9 MeV.
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Mittelstromimplantation
: Die Mittelstromsysteme Purion M Si und SiC des Unternehmens bieten eine höhere Produktivität und einen geringeren elektrischen Energieverbrauch im Vergleich zu Wettbewerbsangeboten, zusätzlich zu anderen Vorteilen. Mit einer Hochenergiefähigkeit weit über den Wettbewerbsimplantern hinaus ist der Purion M ideal für Fabs in höheren Lagen oder solche, die mit schweren Massenspezies umgehen.
Aftermarket-Support und -Dienstleistungen
Durch sein CS&I-Geschäft bietet das Unternehmen seinen Kunden umfangreichen Aftermarket-Service und -Support während des Lebenszyklus der von ihm hergestellten Ausrüstung. Etwa 3.200 der Produkte des Unternehmens werden in 28 Ländern weltweit eingesetzt. Der Service und Support, den das Unternehmen bietet, umfasst gebrauchte Werkzeuge, Ersatzteile, Ausrüstungs-Upgrades und Wartungsdienste. Das Unternehmen bietet unterschiedliche Ebenen von Verkaufs-, Service- und Anwendungssupport aus seinen Außenstellen an.
Um sein Aftermarket-Geschäft zu unterstützen, verfügt das Unternehmen über Vertriebs- und Marketingpersonal, Feldservice-Ingenieure sowie Ersatzteile- und Anwendungsingenieure, die sich an seinen Fertigungsstandorten befinden und mit seinen Kunden zusammenarbeiten, um Kundenschulungen und -dokumentationen sowie Produkt-, Prozess- und Anwendungssupport bereitzustellen.
Die meisten Kunden des Unternehmens führen Ersatzteillager für seine Maschinen. Neben seinem webbasierten Ersatzteilmanagement- und Nachverfolgungsprogramm bietet das Unternehmen eine Reihe von Business-to-Business-Optionen zur Unterstützung der Ersatzteil-Managementanforderungen seiner Kunden an. Das Angebot des Unternehmens für das Axcelis Managed Inventory bietet dem Kunden vollständige Ersatzteilunterstützung durch eine Teile-Konsignationsvereinbarung, bei der Axcelis die Verantwortung für die gesamte Lieferkette übernimmt.
Das Unternehmen verkauft seine Ausrüstung und Dienstleistungen hauptsächlich über seine direkte Vertriebsmannschaft. Das Unternehmen führt Vertriebs- und Marketingaktivitäten von seinen Vertriebsbüros in den Vereinigten Staaten, Taiwan, Südkorea, China, Singapur, Japan, Deutschland und Italien aus.
Im Jahr 2023 machten laut Gartner Inc. die Top-20-Halbleiterchip-Hersteller etwa 92,0% der Gesamtausgaben für Halbleiterkapitalausrüstung aus, was gegenüber 89,0% im Jahr 2022 gestiegen ist. Diese Hersteller stammen aus den größten Halbleiterchip-Herstellungsregionen der Welt: den Vereinigten Staaten, dem asiatisch-pazifischen Raum (Taiwan, Südkorea, Singapur, Japan und China) und Europa.
Die US-Exportkontrollen beeinflussen die Fähigkeit des Unternehmens, an bestimmte Kunden in China zu verkaufen, einem Land, das in den letzten Jahren einen signifikanten Teil seines Umsatzes ausgemacht hat. Einer der wichtigsten chinesischen Kunden des Unternehmens, Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC), steht auf der US-Entity-Liste, unterliegt jedoch einer Lizenzierungspolitik von 2020, die Lieferungen an bestimmte ausgereifte Prozess-SMIC-Fabs ermöglicht, die es bis zum 31. Dezember 2023 erhalten konnte. Andere chinesische Chip-Hersteller stehen auf der US-Entity-Liste, ohne eine ähnliche Politik zu haben, die lizenzierte Lieferungen ermöglicht. Im Oktober 2022 (mit Änderungen im Oktober 2023) hat das US-Handelsministerium einen regulatorischen Rahmen für Exportkontrollen für US-Exporte von Halbleiterausrüstung nach China festgelegt. Dieser Rahmen beschränkt alle Halbleiterausrüstungslieferungen an chinesische Kunden, die Logik-, DRAM- und NAND-Chips produzieren oder entwickeln, die bestimmte fortgeschrittene Parameter erfüllen. Obwohl diese Vorschriften den Export an bestimmte chinesische Kunden weiter einschränken, kann das Unternehmen weiterhin an nahezu alle seine chinesischen Kunden liefern.
Forschung und Entwicklung
Die Ausgaben des Unternehmens für Forschung und Entwicklung betrugen im Jahr 2023 96,9 Millionen US-Dollar.
Auf dem Markt für Ionenimplantationssysteme konkurriert das Unternehmen hauptsächlich gegen Applied Materials, Inc. (Applied Materials). Andere Hersteller von Implantationsausrüstungen, mit denen das Unternehmen konkurriert, sind Sumitomo Heavy Industries Ion Technology Co. Ltd. und Nissin Ion Equipment Co., Ltd in Japan, Advanced Ion Beam Technology, Inc. in Taiwan sowie CETC Electronics Equipment Group Co., Ltd. in der Volksrepublik China.
Bis zum 31. Dezember 2023 hatte das Unternehmen 202 aktive Patente in den Vereinigten Staaten und 487 aktive Patente in anderen Ländern erhalten, sowie 181 Patentanmeldungen (37 in den Vereinigten Staaten und 144 in anderen Ländern) bei verschiedenen Patentagenturen weltweit. Patente sind in der Regel bis zu 20 Jahre ab Einreichung des Antrags gültig.
Axcelis engagiert sich stark für die Rolle des Unternehmens als verantwortungsbewusster Corporate Citizen und ist seinen Umwelt-, Sozial- und Governance (ESG)- und Netto-Null-Verpflichtungen verpflichtet. Im Jahr 2022 wurde Axcelis Gründungsmitglied des Semiconductor Climate Consortium (SCC) von Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), der Branchenorganisation des Unternehmens, die die Fertigungslieferkette für die Mikro- und Nanoelektronikindustrie bedient.
Axcelis Technologies, Inc. wurde 1978 gegründet. Das Unternehmen wurde 1995 in Delaware eingetragen.
